使用纳米聚焦探头，可以捕捉工件表面的三维点云，并分析微结构的尺寸、形状、位置和粗糙度。即使在探测偏差在亚微米范围内的反射表面上，散射光抑制也能实现可靠的三维形貌测量。共焦光学传感器还能在倾斜角较大的陡峭侧面上获得良好的测量结果。
使用纳米聚焦探头，可以捕捉工件表面的三维点云，并分析微结构的尺寸、形状、位置和粗糙度。即使在探测偏差在亚微米范围内的反射表面上，散射光抑制也能实现可靠的三维形貌测量。共焦光学传感器还能在倾斜角较大的陡峭侧面上获得良好的测量结果。
光轴（共聚焦显微镜）
内置 Z 测量轴的图像内测量 250 µm
允许的探测偏差达0,15 µm
通过移动带有 a) 照明、b) 摄像头、c) 针孔孔径和 d) 成像光学器件 e) 的测量头，可通过散焦改变光点 f) 和 g) 的强度。使用大距离 g) 可以避免散焦光点 f) 的重叠。根据光强曲线同时确定工件表面的多个测量点
