使用传统的三角测量传感器,测量结果在很大程度上取决于表面的结构和倾斜角度。这会导致相对较大的测量不确定性,使传感器只能用于精度较低的测量任务。将 WLP Foucault 激光传感器集成到 Werth Zoom 的光束路径中,可以获得更好的测量结果。这尤其适用于对倾斜度达 80° 的表面或相应的曲面进行快速平面度测量。
使用传统的三角测量传感器,测量结果在很大程度上取决于表面的结构和倾斜角度。这会导致相对较大的测量不确定性,使传感器只能用于精度较低的测量任务。将 WLP Foucault 激光传感器集成到 Werth Zoom 的光束路径中,可以获得更好的测量结果。这尤其适用于对倾斜度达 80° 的表面或相应的曲面进行快速平面度测量。
光轴(傅科叶边缘)
允许的探测偏差达0,75 µm
通过使用 Foucault 边缘 b) 使激光束 a) 不对称,漫反射光照射到差分二极管 c) 的不同位置,从而确定与工件表面 d) 的距离。通过分光镜 e) 将光束整合到图像处理传感器 f) 中(图中未显示照明)。