几分钟内测量 100 万个微孔

Werth 的多传感器测量理念是电子、精密机械和光学行业工件测量的理想选择。– 其中一个例子是对穿孔玻璃板的测量，这种玻璃板是在约 600 mm × 600 mm 的整块面板上生产的，上面有多达 100 万个极小的孔（通孔玻璃 TGV）。然后将单个图案分离出来，进行金属电镀，用于高级封装，即芯片生产中的电路堆叠。需要对孔的位置、直径（≤ 100 µm）、形状和方向进行 100% 的测量。此外，还必须确定玻璃板的平整度和厚度。计量方面的挑战在于捕捉大量孔的直径和形状所需的结构分辨率，这就要求测量速度明显高于传统的图像处理。

Werth VideoCheck® HA 专用于测量公差在微米范围内的精密工件。获得专利的光栅扫描 HD 操作模式能够高精度地自动捕捉具有小几何元素的大面积区域，因此能够以独特的方式满足分辨率和测量速度方面的要求。因此，整体图像的分辨率高达 20,000 万像素。多达 100 万个孔的位置、直径和形状可在 15 分钟内完成系列测量和分析。
这使得 Raster Scanning HD 比传统测量方法快许多倍。 Werth 可能是世界上可供选择传感器最多的公司，能够以无与伦比的速度进行全面测量。 Werth Fiber Probe® 已获专利的扫描仪非常适合测量孔内不同高度的形状偏差，其玻璃扫描球（直径 ≥ 20 µm）被认为是世界上最成功的扫描仪。此外，色度聚焦点传感器还用于测量玻璃板的厚度和平整度（玻璃板厚度 ≥ 200 µm）。通过反射光的颜色来确定距离，这样也可以测量反射和透明表面的涂层厚度。