20 世纪 90 年代末的第一版 ISO/TS 16949 标准（IATF 16949 的前身）对所用测试设备的计量可追溯性提出了新的要求。三坐标测量机尤其适用于监测和校准此类测试设备。
坐标测量技术和坐标测量系统的系列标准，除其他外，规定了验收和确认测试的规格和程序，以及确定坐标测量系统测量不确定度的规格和程序（对于使用计算机断层扫描的坐标测量系统，将 VDI 准则转换为 ISO 标准的工作仍在进行中）。
