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相对于工件移动测量头，通过散焦改变光点的强度。根据强度曲线确定工件表面的位置。
用于监测和优化工件的工业制造过程及其开发和应用的测量设备和程序。质量保证既与产品有关，也与工艺有关。
对于切削工具（例如钻头、铣刀、铰刀、滚刀和刀片）的测量，通常使用三轴坐标测量仪和附加的旋转轴。在工具测量技术中，区分工具预设和工具测量。预设用于在加工机中对齐工具。而工具制造商和用户的进货检查部门则必须确保工具符合几何要求。为了生成工具制造过程的校正值，在记录工具尺寸时，必须达到最低微米级甚至亚微米级的精度。
通过光纤耦合器连接超发光二极管和测量探头，干涉仪将探头出口表面和工件表面反射光的传输时间差信息投射到线扫描相机上，并由此确定距离。
根据标准化标准制定的规格和经过认证的校准可对测量设备的性能进行客观比较，并确保测量结果具有可追溯性。三坐标测量机最重要的参数是长度测量的最大允许显示误差 MPE E（尺寸测量的最大允许误差）和最大允许测量误差 MPE P（最大允许测量误差）。